磁控离子溅射仪
来源:
作者:
时间:2025-07-27

名称:GVC-1000磁控离子溅射仪

生产厂商:北京格威

型号:GVC-1000

仪器简介:

GVC-1000磁控离子溅射仪是一种用于扫描电子显微镜(SEM)样品制备的高性能镀膜设备,采用磁控溅射技术(Magnetron Sputtering)在样品表面沉积纳米级金属(如金、铂、碳等)或导电薄膜,主要解决非导电样品的荷电效应,提升SEM成像质量和EDS/EBSD分析准确性。

功能特点:

高精度镀膜:采用磁控溅射技术,镀膜均匀性优于传统热蒸发技术,避免颗粒污染;可精确控制膜厚(纳米级),适合高分辨率SEM成像或EDS分析。

多功能性:支持金、铂等材料,满足不同导电性和分辨率需求(如铂适用于更高倍率成像);可选碳镀膜,用于TEM样品制备。

兼容性广:适用于绝缘体、生物样品、纳米材料等,解决电荷积累问题。

全自动流程:一键启动,预设程序存储(如生物样品常用参数)

技术参数:

镀膜材料:金(Au)、金钯合金(Au/Pd

镀膜厚度:1–20 nm(可调);

溅射电流:0–100 mA(可调);

样品台:可容纳直径≤100 mm的样品,兼容多种样品架;

应用范围:广泛应用于材料科学、半导体与电子器件,生物与生命科学、地质与矿物学、能源与环境科学等领域。

仪器安装地点:实验6号楼一楼105室

仪器管理人:

曾 雪,实验6号楼二楼201-1室,办公电话:0931-4956220,手机:15101201253