名称：Quorum离子溅射仪
生产厂商：Technexion Ltd（英国）
型号：Quorum
仪器简介：
Quorum离子溅射仪（喷金仪Quorum Sputter Coater）是一种用于扫描电子显微镜（SEM）或其他电子光学仪器的样品制备设备，通过磁控溅射或等离子体溅射技术在样品表面镀上一层薄金属膜（如金、铂、金钯合金等），以提高样品的导电性和抗电子束损伤能力，同时增强二次电子发射率，从而提升SEM成像质量。
功能特点：
高精度镀膜：采用磁控溅射技术，镀膜均匀性优于传统热蒸发技术，避免颗粒污染；可精确控制膜厚（纳米级），适合高分辨率SEM成像或EDS分析。
多功能性：支持金、铂等材料，满足不同导电性和分辨率需求（如铂适用于更高倍率成像）；可选碳镀膜，用于TEM样品制备。
兼容性广：适用于绝缘体、生物样品、纳米材料等，解决电荷积累问题。
技术参数：
镀膜材料：金（Au）、金钯合金（Au/Pd）；
镀膜厚度：1–20 nm（可调）；
溅射电流：0–100 mA（可调）；
样品台：可容纳直径≤100 mm的样品，兼容多种样品架；
应用范围：广泛应用于材料科学、半导体与电子器件，生物与生命科学、地质与矿物学、能源与环境科学等领域。
仪器安装地点：实验6号楼一楼105室
仪器管理人：
曾 雪，实验6号楼二楼201-1室，办公电话：0931-4956220，手机：15101201253
