设备名称：场发射扫描电子显微镜
生产厂商：德国卡尔蔡司
设备型号：ZEISS GeminiSEM 500
仪器简介：
GeminiSEM 500场发射扫描电镜，配置Oxford UltimMax 65 EDS能谱仪，用于样品的超高分辨微观形貌表征、微区结构及成分分析。加速电压0.02 kV~30 kV连续可调，15 kV下分辨率可达0.5 nm。Nano-twin lens物镜探测系统对于不导电样品、磁性样品、电子束敏感（易损伤）样品等具有卓越的成像优势。经优化和增强的Inlens探测器，可高效地采集信号，在较低的加速电压下，避免样品损伤的同时快速地获取更高清晰度的图像。适用于各类材料的成像表征和成分分析。
功能特点：
具有出色的分辨率：15 kV下分辨率可达0.5 nm，能够轻松地实现亚纳米分辨成像；
独特的Nano-twin lens物镜：优化静电场和磁场的复合功效，在低电压下具有更高的分辨率。提高镜筒内Inlens探测器在低电压下的信号采集效率；
在低电压下获取更丰富的细节信息：在低电压下拥有更高的信噪比和更高的衬度，二次电子图像分辨率1 kV达0.9 nm，500 V达1.0 nm，在避免样品损伤的同时快速地获取更高清晰度的图像；
应用高分辨率电子：缩小30 %的出射电子束能量展宽，有效地降低像差，获得更小的束斑；
技术参数：
分辨率：≤0.5 nm@15 kV（二次电子，标准模式下，非STEM模式及非样品台减速模式）；≤0.9 nm@1 kV（二次电子，标准模式下，非STEM模式及非样品台减速模式）；
放大倍率：100 x - 2,000,000 X倍，放大倍数自动校准，低倍率与高倍率无需模式更换；
加速电压：0.02 kV - 30 kV，以10 V为步进连续可调；
探针电流：范围5 pA - 20 nA；束流稳定性：0.2%/10 h；
元素分析范围：Be4 - Cf98；
能量分辨率：MnKα优于129 eV（计数率1 00,000 cps）；
应用范围：
广泛应用于材料科学、生命科学、环境科学、物理学、化学化工、医学、地质勘探、石油化工、以及工业生产中的产品质量鉴定等领域。
仪器安装地点：博学楼分析测试中心105室
仪器管理人：曾雪，办公电话：0931-4956220，手机：15101201253
