设备名称：钨灯丝扫描电子显微镜
生产厂商：国仪量子
型号：SEM3300
仪器简介：
扫描电子显微镜是一种利用聚焦电子束扫描样品表面，通过检测激发出的二次电子、背散射电子等信号来获得高分辨率表面形貌图像的电子光学仪器。全新一代钨灯丝扫描电镜，将高压隧道技术(Super-Tunnel)、镜筒内电子探测器、静电电磁复合物镜等技术，应用在钨灯丝电镜上，突破了钨灯丝的分辨率极限，让钨灯丝电镜也能完成部分场发射电镜才能完成的低电压分析任务。分辨率优于2.5nm，在20kV电压下分辨率可达2.5nm，比普通钨灯丝电镜提高了16%；3kV电压下分辨率为4nm，相比普通钨灯丝电镜提高了2倍；1kV电压下分辨率为5nm，相比普通钨灯丝电镜提高了3倍。
功能特点：
电子光学系统：采用预对中型发叉式钨灯丝电子枪，配合高压隧道技术，从阳极直达物镜极靴的10kV高压管，减少空间电荷效应，提升电子源亮度。
成像系统：配备二次电子探测器（ETD）、镜筒内高角度电子探测器等，镜筒内Inlens探测器可提高信号收集效率，实现高信噪比高分辨。
成像质量：大景深，成像富有立体感，不同视场范围下均可获得高分辨率图像。
低电压高分辨：具备镜筒内减速模式，可在低电压下实现高分辨成像，能胜任如锂电池隔膜等低电压高分辨检测任务。
技术参数：
分辨率：2.5nm@20kV，SE；4nm@3kV，SE；5nm@1kV，SE；
加速电压：0.1 kV - 30 kV；
放大倍率：屏幕倍率调节范围最大100w倍；底片倍率调节范围最大30w倍；
元素探测范围： B(5)~ Cf98；
能量分辨率：在 100,000CPS 条件下 Mn-Ka 保证优于 129eV；
应用范围：广泛应用于材料科学、生物医学、半导体、纳米技术等领域。
仪器安装地点：实验6号楼一楼105室
仪器管理人：
曾 雪，实验6号楼二楼201-1室，办公电话：0931-4956220，手机：15101201253
